真空泵在真空燒結爐中的應用及選型

在某些真空燒結爐中的真空應用中，需要進入10-1Pa范圍，這對羅茨泵的二級機組往往難于實現(xiàn)，而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空燒結爐中真空度提高一個數(shù)量級而進入10-1Pa，所以真空燒結爐的中真空應用也常用三級機組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿抽速，所以亦可以在三級中真空機組中取代兩級羅茨泵。一般地講，真空燒結爐長時間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵，分子增壓泵可以完全取代。而真空燒結爐長時間工作在中真空高端壓力范圍的羅茨泵相對而言應該較少，因為這一壓力范圍前級泵往往還具有強勁的抽速。

真空燒結爐中不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機組來完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。高真空一側的真空泵能達到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側的真空泵是直排大氣的。顯然最簡單的真空機組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機組，中真空一般需要二級機組。

對于較大型的高真空燒結爐設備，也可適當加強前級泵的預抽能力，進一步縮短抽氣時間，由于預抽時間與整個排氣過程相比很短，所以真空燒結爐前級泵的使用時間也很短，因此可以兼作多套設備的預抽作用，而這往往是非常現(xiàn)實的。這就使規(guī)?；瘧玫恼婵諜C組得到大大的簡化。