分子泵，真空泵及各種真空泵在高溫高真空釬焊爐中的應(yīng)用

用來獲得、改善和維持真空的裝置稱為真空泵，是獲得高溫高真空釬焊爐中真空的主要手段，廣泛應(yīng)用于機械、冶金、化工、醫(yī)療、食品、電子、半導(dǎo)體、能源、高能物理、航空和航天等領(lǐng)域中。近年來，已研制出從大氣壓到高真空僅用一臺就能實現(xiàn)的新型真空泵，但一般來說，高溫高真空釬焊爐為了獲得高真空、超高真空及極高真空，還要采取多臺真空泵構(gòu)成機組來完成抽氣任務(wù)。因此，了解各種真空泵在高溫高真空釬焊爐中的工作原理、主要性能、結(jié)構(gòu)特點等。對于正確選擇經(jīng)濟適用的真空泵是非常重要的。

(1) 按泵的口徑大小選擇真空閥：

如果高溫高真空釬焊爐中真空泵確定，泵的口徑已定，那么被選閥門的通徑應(yīng)已定的口徑,否則會影 響泵的抽速；

(2) 分子泵用閥選擇：

分子泵是以高速轉(zhuǎn)動的動葉片與靜止的定葉片相對運動來抽氣，它的轉(zhuǎn)速每分達 幾萬轉(zhuǎn)。動葉片與定葉片之間的間隙很小，因此分子泵要求振動小、清潔和通導(dǎo) 能力大的閥門。能滿足這個要求的最佳選擇是插板閥。

(3) 擴散泵用閥選擇：

擴散泵適用于大型高溫高真空釬焊爐真空系統(tǒng)，特別是在工藝過程中會放出大量氣體的系統(tǒng)。因為 它抽速大、能及時抽走系統(tǒng)中放出的氣體，保持高溫高真空釬焊爐中真空室內(nèi)需要的真空度，如：高溫高真空釬焊爐、真空爐、釬焊爐、真 空冶金、熱處理、鍍膜設(shè)備等。它對閥門的要求是關(guān)閉快、密封可靠、防止泵油 氧化。擴散泵如布置在真空室側(cè)面可選用擋板閥、翻板閥，同時可代替彎頭。如 果在腔體底部則可選用插板閥，它軸向尺寸小、可降低高度，也可選用蝶閥。

(4) 機械真空閥用閥選擇：

機械旋片、滑閥泵是油封的，泵腔內(nèi)注滿了油，如果機械泵停止工作泵腔內(nèi)的油 會因為壓差的原因返入真空室、對高溫高真空釬焊爐的真空室造成污染。因此機械泵入口處必須安裝 …個防止返油的“安全閥” 一一電磁壓差閥。壓差閥的作用是當泵突然失電停止 時壓差閥立即關(guān)閉，同時對泵入口充入大氣，使泵進出口壓力平衡從而防止返油。 該閥在單晶爐上使用時由于前級沒有過濾，使單晶爐中的氧化物、碳氫化合物等 進入閥門氣缸內(nèi)，造成閥活塞卡死，經(jīng)常需要清洗。現(xiàn)在壓差閥為清潔型，可長 期使用。

（5）高溫高真空釬焊爐真空系統(tǒng)前級管道用閥選擇；

1.閥門口徑與管徑-致，不影響流導(dǎo)和泵的抽速；

2.閥門品種盡量?致,便于釆購、管理和維修；

3.常用可選閥門如下：

真空球閥、真空擋板閥(角通、食通)、真空蝶閥、真空隔膜閥。