干式螺桿真空泵在石墨烯高溫真空燒結(jié)爐的應(yīng)用
日前各種真空泵的發(fā)展恵米恵安到具空心用場(chǎng)合ド影川,石墨烯高溫真空燒結(jié)爐中一般的真空系統(tǒng)無(wú)法滿(mǎn)足清潔無(wú)油及耐腐的西龍,因此近年來(lái)干式具空泉市功需冰重限大,具空獄得廣品巳經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,石墨烯高溫真空燒結(jié)爐中大量的有油真空系統(tǒng)已被無(wú)油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國(guó)外幾平母一家牧大的具空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空岬桿真空泵屬于非接觸型十式泉,走20世紀(jì)90年代利期田地的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬,結(jié)構(gòu)佑的緊湊,抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng),能耗供,尤油冷梁等優(yōu)點(diǎn),我國(guó)尚處于起步階段,市場(chǎng)對(duì)于干式真空泵有迫切的需求。
石墨烯高溫真空燒結(jié)爐中干式真空泵,因泵腔內(nèi)無(wú)需油潤(rùn)滑或水密封,泉腔內(nèi)完全無(wú)油,因此,螺桿真空泵在半導(dǎo)體,電子工業(yè)山至求無(wú)油潔凈真空的場(chǎng)合以及化工制約中對(duì)滘劑的回收工藝等具有不可比擬的優(yōu)勢(shì),另外在干燥過(guò)程中旋臺(tái)泵的換油頻繁及壽命問(wèn)題也可得到解決,所以石墨烯高溫真空燒結(jié)爐中螺桿真空泵可廣泛替代旋片式真空泵,滑閥式真空泵,水環(huán)式真空泵,水噴射真空泵,往復(fù)式真空泵,羅茨水環(huán)真空機(jī)組等。
石墨烯高溫真空燒結(jié)爐中螺桿真空泵的一個(gè)導(dǎo)程相當(dāng)于一級(jí)泵,多個(gè)導(dǎo)程的螺桿泵相當(dāng)于多級(jí)泵串聯(lián),相對(duì)于爪式真空泵,多級(jí)羅茨真空泵等多級(jí)串聯(lián)的干式真空泵而言,因石墨烯高溫真空燒結(jié)爐中螺桿真空泵的各級(jí)泵之間無(wú)內(nèi)部通道,而是直接將氣體從吸氣側(cè)推送至排氣側(cè),因此在抽除可凝性氣體,帶有粉塵及顆粒物的氣體時(shí)不易堵塞且清洗方便。