真空燒結(jié)爐中擴散泵的運行流程

1、擴散泵的開啟

真空燒結(jié)爐中擴散泵開啟按下述操作順序（供參考）。

① 擴散泵泵體通水冷卻，然后用油封真空泵同時抽擴散泵的泵體及真空室。

       ② 當(dāng)泵體內(nèi)的壓力小于lOOPa后，再接通擴散泵加熱真空燒結(jié)爐中的電源，使泵體內(nèi)的油加熱。 因為油在高溫下易氧化，即便使用高抗氧化性硅油，也不宜在高壓力氣氛中加熱。

擴散泵的預(yù)熱時間因泵大小而異。一般口徑400mm以下的泵，加熱時間15?60min； 口徑大于400mm的泵，加熱時間80?240min。

       ③ 當(dāng)真空燒結(jié)爐中真空室內(nèi)壓力低于O.lPa以后，便可打開擴散泵進氣口主閥，擴散泵進行抽氣， 直到達到工作壓力。這種抽氣系統(tǒng)，當(dāng)使用時間長了以后，油封真空泵的極限壓力會降偏 將導(dǎo)致粗抽真空室壓力達不到O.lPa, 一般可以進入1?5Pa。此時開啟擴散泵抽真空室也 可以。如果用羅茨泵-油封真空泵作為粗抽機組，很容易達到擴散泵的啟動壓力O.lPa，宥 以大大縮短粗抽時間。

值得注意的是，在0. l~10Pa之間，無論油封真空泵，還是擴散泵，返流均最大。為避免出現(xiàn)最大返流，可以選擇真空室抽到i5Pa左右，關(guān)閉粗真空閥，打開商真 空閥（主閥），啟動擴散泵抽氣。剛開啟閥門，可能會造成擴散泵一級噴口瞬間過載，但役 快會恢復(fù)正常工作。

2、擴散泵停機

擴散泵停機順序如下。

① 關(guān)閉真空計，切斷真空燒結(jié)爐中爐加熱電源，關(guān)閉主閥。 

        ② 油封真空泵，繼續(xù)對擴散泵泵體抽氣，目的有兩個.其一防止油蒸氣返流；其提 使擴散泵的高溫油處于真空氣氛不被氧化。抽氣時間因泵大小而異小泵需加山護 大泵 60~120min_o

    ① 當(dāng)油溫降到50?60°C時，可以停掉擴散泵的冷卻水。

   ② 油封真空泵停止工作，電磁放氣閥給泵放氣，使泵腔內(nèi)處于大氣壓狀態(tài)。? 無論是工業(yè)生產(chǎn)擴散泵真空抽氣系統(tǒng)，還是試驗用抽氣系統(tǒng)，擴散泵停機后，均需要保

持泵腔體內(nèi)為真空狀態(tài)，有利于擴散泵的再啟動，以及防止真空燒結(jié)爐中泵腔內(nèi)被污染。